化合物半导体电光调制器（EOM）外延结构

        电光调制器（EOM）是任何光学系统的重要组成部分，广泛用于数字和模拟光纤系统中光波的相位或强度调制。高速调制器因其在先进电信系统、光纤无线电系统以及测试和测量设备中的实际应用而受到特别关注。为了实现高速调制，使用了铌酸锂、有机材料和化合物半导体系统。基于化合物半导体系统的调制器比其他类型的调制器更可取，因为它们尺寸小，并且可以将它们与其他有源和无源光学元件集成在单个芯片上（激光器、半导体光放大器、耦合器和分配器、阵列波导光栅、光电探测器等）。可供化合物半导体材料，如InP/InGaAsP，用于制备电光调制器，具体结构如下:

1. InGaAsP/InP量子阱基电光调制器结构

CS180828-EOM

        InGaAsP/InP材料在电吸收和电折射光调制器中的应用一直备受关注。通过添加P子晶格，在阱层中使用四元InGaAsP材料系统可以提供额外的自由度来调节吸收边缘，以获得高调制效率。

2. 调制器的驱动电压

        调制器最重要的特性之一是驱动电压，也称为Vπ。许多光学系统的特性，如驱动功率和链路增益与Vπ的平方成正比。因此，低Vπ调制器是极其重要的。它们的Vπ为几伏。化合物半导体调制器通过提高相移效率来降低Vπ。这些相位调制器利用PN结的耗尽区内的高电场来增加源自线性电光（LEO）和二次电光（QEO）效应的相移。

3. 电光调制器应用

        电光调制器的典型应用主要包括：

        调制激光束的功率，例如用于激光打印、高速数字数据记录或高速光通信；

        固态激光器的Q 开关（其中 EOM 用于在发射脉冲之前阻挡激光谐振器）；

        主动锁模（EOM 使用往返频率或其倍数调制谐振器损耗或光学相位）；

        脉冲选择器、再生放大器和倾腔激光器中的开关脉冲。

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