氮化镓/蓝宝石复合衬底
可供具有高质量、低缺陷密度的氮化镓/蓝宝石复合衬底,具体列举了如下几种不同厚度的蓝宝石基氮化镓复合衬底供您参考:
规格1:
外延层 | 厚度 |
GaN | 5um |
GaN缓冲层 | – |
蓝宝石衬底 | – |
规格2:
外延层 | 厚度 |
GaN | – |
GaN | 1um |
GaN缓冲层 | – |
蓝宝石衬底 | – |
规格3:
外延层 | 厚度 |
GaN | – |
GaN | 5um |
GaN | – |
GaN缓冲层 | – |
蓝宝石衬底 | – |
规格4:
外延层 | 厚度 |
AlN | – |
GaN | – |
GaN | 1um |
GaN缓冲层 | – |
蓝宝石衬底 | – |
由于氮化镓和蓝宝石之间存在晶格失配问题,所以需要在蓝宝石衬底上先生长一层缓冲层,再生长氮化镓薄膜。
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