氮化镓/蓝宝石复合衬底

氮化镓/蓝宝石复合衬底

        可供具有高质量、低缺陷密度的氮化镓/蓝宝石复合衬底,具体列举了如下几种不同厚度的蓝宝石基氮化镓复合衬底供您参考:

氮化镓-蓝宝石复合衬底

规格1:

外延层 厚度
GaN 5um
GaN缓冲层
蓝宝石衬底

 

规格2:

外延层 厚度
GaN
GaN 1um
GaN缓冲层
蓝宝石衬底

 

规格3:

外延层 厚度
GaN
GaN 5um
GaN
GaN缓冲层
蓝宝石衬底

 

规格4:

外延层 厚度
AlN
GaN
GaN 1um
GaN缓冲层
蓝宝石衬底

 

        由于氮化镓和蓝宝石之间存在晶格失配问题,所以需要在蓝宝石衬底上先生长一层缓冲层,再生长氮化镓薄膜。

 

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